Wafer Sleuth の特徴

Wafer Sleuthは、非常にシンプルで、早いプログラムです。ユーザーはロットIDを指定してパラメータを選ぶだけ。標準的な使い方であれば10秒以内に相関分析の結果を手に入れることができます。ユーザーはその結果を元に更に詳細な解析を行ったり、解析結果をe-mail や印刷を通して関係者と共有したりすることができます。

また、Wafer Sleuth は自動バッチによる解析をサポートします。バックグラウンドでキーパラメータを抽出し、その結果をウェブ画面や e-mail を通じて各エンジニアや管理者と情報を共有し、活発な対話を促します。

ロット内の相関は、様々な解析パターンから自動的に検出され、その結果はランク付けやハイライトすることにより、ユーザーが直感的に分かる形で管理されます。また、製品種別や装置などの分類により、必要な情報を必要な人に、日常的に解析結果をレポートすることができます。

解析結果の問題点を更に絞り込む高度な機能として、Wafer Sleuth は以下の機能を提供します。

	•	Multi-lot analysis (マルチロット解析)
	•	Multi-lot composite analysis (マルチロット複合解析)
	•	Correlation database mining (相関データマイニング)
	•	Integration of Wafer Sleuth with Spatial Signature Analysis of wafer map defect clusters (SSAウェハマップ解析)
	•	Correlation of equipment-level process parameters (装置トレンドデータ解析)
	•	Lot commonality analysis reports (ロット共通性解析)

これらのモジュールも同様に、相関パターン、各種スタンダード、ロバスト、ノンパラメトリック統計などに似たルールを適用することにより、歩留損失の原因となるプロセスの特定に役立ちます。

システム監視
SPC機能はWafer Sleuth の連携する各種サブシステムのデータ（工程情報やテストデータ）を管理し、自動的にレポートを作成します。データソースの障害が発生した場合には速やかにそれを検知し、システム管理者に通知します。レポートに受信データ量の変化やフォーマットの変化によるエラー、CPU負荷率、HDD容量の監視などが含まれます。

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