Wafer Sleuth 軟 體 功 能 項 目:

Wafer Sleuth 軟 體 設 計 主 要 以 執 行 簡 易 與 快 速 為 出 發 點。 除 了 每 天 由 Wafer Sleuth 整 理 出 的 工 廠 報 表 外,工 程 師 亦可 經 由 使 用 界 面 鍵 入 lot ID 與 測 試 參 數 很 快 的 查 出 造 成 該 測 試 參 數 乖 離 常 態 分 佈之 機 台 與 機 台 上 失 控 的 運 作 參 數。所 有 由 Wafer Sleuth 整 理 出 來 的 數 據 或 圖 表 均 可 經 由 e-mail 送 出。

報 表 中 每 一 個 lot 的 良 率 分 析 仍 根 據 每 個 生 產 機 台 EI 數 據 及 利 用 Wafer Sleuth 軟 體 計 算 出 的 關 連 比 重 而 整 理 出 最 有 可 能 造 成 低 良 率 之 機 台。由 Wafer Sleuth 軟 體 製 作 的 報 表 可 顯 示 在 公 司 的 內 部 intranet 上 或 經 由 e-mail 送 達 指 定 工 程 師 和 經 理。

每 日 報 表 中 每 一 個 的 良 率 分 析 報 告 可 依 各 工 廠 使 用 者 之 要 求 特 別 製 定 如 依 據 產 品 技 術 分 類,依 據 製 程 機 台 分 類,或 其 他 特 別 指 定 條 件 分 類。下 列 項 目 乃 Sleuthworks 在 上 述 基 本 報 表 功 能 外,另 外 開 發 出 的 功 能 單 元:

Multi-Lot 分 析 單 元

Multi-Lot 結 合 分 析 單 元

資 料 庫 搜 尋對 照 分 析 單 元

Wafer Sleuth 與 晶 片 yield map 資 料 綜 合 之 Spatial Signature 分 析 單 元

生 產 機 台 之 製 作 參 數 對 照 分 析 單 元

晶 片 Lot 共 同 性 報 告 分 析 單 元

上 述 分 析 單 元 均 使 用 與 基 本 Wafer Sleuth 單 元 相 同 的 分 析 方 法,並 在 需 要 時 使 用 標 準 自 動 化 和 非 參 數 (non-parametric) 統 計 方 法 來 估 算 關 連 比 重 參 數 以 辨 認 造 成 低 良 率 的 製 程 機 台 與 機 台 運 作 參 數。

自 動 化 的 資 料 流 量 監 視:

Wafer Sleuth 軟 體 用 SPC 方 法 產 生 報 告,並 且自 動 監 測 從 各 工 廠 和 測 試 來 源 的 工 程 資 料。所 以 它 可 及早 檢 測 任 一 個 資 料 源 中 斷 的 情 況。 系 統 管 理 員 在 相 當 數 量 資 料 變 化 時 會 收 到 從 系 統 送 出 的 警 告訊 號。在 過 份 使 用 CPU 或 記 憶 體 消 耗 過 量 時 同 樣 有 警 告 訊 號 送 出。

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