Wafer Sleuth 效 益:
保 存 每 一 晶 片 在 生 產 線 上 每 一 製 造 程 序 紀 錄:
當 晶 片 的 每 一 個 製 造 程 序 紀 錄 可 被 Wafer Sleuth 軟 體 用 來 與 最 後 測 試 結 果 對 照 分 析,此 分 析 結 果 提 供 了 工 程 師 對 生 產 線 上 機 台 性 能 一 絕 佳 的 能 見 度。
加 速 解 決 問 題:
Wafer-level tracking 的 解 決 方 式 可 減 少 找 出 低 良 率 問 題 所 需 的 時 間。Wafer Sleuth 軟 體 可 自 動 將 每 天 所 有 測 試 過 的 lot 的 結 果 與 晶 片 的 製 程 紀 錄 分 析 而 整 理 出相 關 聯 的 報 表 , 以 便 工 程 人 員 立 即 對 有 問 題 的 機 台 採 取 停 產 與 相 關 的 補 救 措 施。 通 常 在 出 現 低 良 率 晶 片 的 當 天 即可 有 效 的 停 止 有 問 題 機 台 運 作 與 進 行 維 修。
自 動 紀 錄 晶 片 流 程 以 防 止 晶 片 誤 置:
Wafer Sleuth 的 資 料 庫登 錄 了 每 一 晶 片 流 程 及 製 作 該 晶 片 使 用 過 的 機 台。當 晶 盒 在 wafer reader / sorter 上 作 隨 機 排列 時,每 一 個 晶 片 的 ID 也 可 一 併 複 查 以 避 免 晶 片 的 錯 置 而 造 成 損 失。
縮 短 工 廠 Ramp-Up 與 新 產 品 開 發 時 程:
由 於 Wafer Sleuth 軟 體 可 結 合 良 率 與 電 性 測 試 資 料 與 機 台 生 產 紀 錄 一 起 分 析,因 此 工 程 人 員 可 利 用 Wafer Sleuth 對 電 性 偏 離 常 態 與 肇 因 機 台 的 分 析報 告 而省 去 了 做 DOE 及 晶 片 破 壞 性 分 析 等 工 作。 如 此,工 廠 的 新 產 品 開 發 期 可 大 大 縮 短。
確 定 潛 在 的 reliability 問 題 程 度:
因 Wafer Sleuth 可 以 快 速 找 出 問 題 機 台 與 不 正 常 機 台 運 作 參 數,為 工 程 人 員 省 下 尋 找 問 題 所 在 需 要 的 測 試 與 DOE 執 行 的 時 間 與 精 力。 如 此 便 可 使 工 程 人 員 更 快 速 和 有 效 率 的 證 實 被 影 響 到 有 幾 片 或 幾 盒 晶 片 數 量。