Wafer Sleuth 執 行 方 式：
在 一 盒 晶 片 進 入 每 一 製 程 之 時，有 目 的 地 重 新 安 排 晶 片 進 入 生 產 機 台 內 的 順 序 是 成 功 的 使 用 Wafer Sleuth 軟 體 分 析 低 良 率 問 題 之 一 基 本 步 驟。 在 一 般 E I 自 動 化 比 較 不 完 善 的 晶 片 廠，此 隨 機 重 組 通 常 乃 由 wafer reader / sorter 來 執 行。 Wafer reader / sorter 在 重 組 晶 片 順 序 後 再 將 組 合 前 後 之 晶 片 順 序 紀 錄 傳 送 至 Wafer Sleuth 的 資 料 庫 以 供 分 析 用。 目 前 一 般 新 建 晶 片 廠 則 因 機 台 自 動 化 E I界 面 設 置 功 能 強 化，此 隨 機 重 組 的 工 作 可 由 Wafer Sleuth 程 式 送 出 一 隨 機 取 片 順 序 至 各 個 生 產 機 台 而 不 必 使 用 wafer reader / sorter 。 因 此 在 12 吋 晶 片 廠 (或 自 動 化 完 善 之 8 吋 廠)，使 用 Wafer Sleuth 軟 體 不 需 要 另 外 再 執 行 Wafer reader / sorter 步 驟 而 有 增 加 步 驟 的 憂 慮。當 晶 片 完 成 製 程 與 測 試 後，Wafer Sleuth 程 式 會 自 動 分 析 線 上 各 生 產 步 驟 留 存 之 重 組 順 序 與 測 試 結 果 做 對 照 分 析，並 用 Wafer Sleuth 預 設 之 對 照 比 重 指 數 來 判 別 造 成 低 良 率 之 機 台 與 機 台 運 作 中 乖 離 常 態 分 佈 之 參 數 以 供 工 程 人 員 參 考。
一 個 WaferSleuth 解 決 問 題
的 例 子:
在 一 安 裝 了 Wafer Sleuth 的
客 戶 工 廠 處，許 多 晶
片 測 試 後 有異 常 高 的
Vt 值 變 動 (delta Vt)。在 將 delta Vt 與
進 入 生 產 機 台 之 前，晶
片 在 晶 舟 內 的 順 序 數
據 通 過 Wafer Sleuth 軟 體 以 圖
表 標 示。
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並 由 此 發 現 了 與 gate oxidation 製 程 之 間 的 相 對 關 係。在 審 查 報 表 後 問 題 立 刻 被 解 決，而 不 需 要 再 等 另 外 的 實 驗 來 確 定 因 phosphorus-doped 的 dummy 晶 片 沾 染 了 晶 舟。